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一种高稳定性PFD行业铜合金膜用蚀刻液

被引：0
申请号：
CN202111573182.8
申请日：
2021-12-21
公开(公告)号：
CN114318339A
公开(公告)日：
2022-04-12
发明(设计)人：
陈浩 李华平 王润杰
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市高新区浒墅关镇华桥路155号
IPC主分类号：
C23F118
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-04-12 公开 公开
2022-04-29 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/18 申请日:20211221
共 50 条
[1]
一种面板行业高稳定性铜蚀刻液 [P]. 
戈烨铭 .
中国专利 :CN107761099A ,2018-03-06
[2]
一种高效无氟铜钼合金膜用蚀刻液 [P]. 
陈浩 ;
李华平 ;
王润杰 .
中国专利 :CN113755839A ,2021-12-07
[3]
一种铜合金膜蚀刻液组合物 [P]. 
刘耀鹏 ;
高小云 ;
钱森林 ;
孙家浪 ;
邹文 ;
李飞 ;
薛利新 ;
胡建康 ;
黄俊群 ;
李璐 ;
曹吕 ;
王洪华 .
中国专利 :CN119753685A ,2025-04-04
[4]
一种用于FP行业Array制程厚膜工艺的铜蚀刻液 [P]. 
陈浩 ;
李华平 ;
王润杰 .
中国专利 :CN114000150A ,2022-02-01
[5]
一种面板行业环保型高稳定性新型铜蚀刻液 [P]. 
戈烨铭 .
中国专利 :CN107761098A ,2018-03-06
[6]
一种选择性铜及铜合金蚀刻液 [P]. 
李少平 ;
张宗萍 ;
贺兆波 ;
叶瑞 ;
欧阳克银 ;
黄锣锣 ;
钟昌东 ;
张演哲 ;
黎鹏飞 ;
郑秋曈 ;
高楒羽 .
中国专利 :CN117604528A ,2024-02-27
[7]
一种选择性铜及铜合金蚀刻液 [P]. 
李少平 ;
张宗萍 ;
贺兆波 ;
叶瑞 ;
欧阳克银 ;
黄锣锣 ;
钟昌东 ;
张演哲 ;
黎鹏飞 ;
郑秋曈 ;
高楒羽 .
中国专利 :CN117779035A ,2024-03-29
[8]
一种高稳定性铜合金滑动轴承 [P]. 
刘永 ;
蔡杨 ;
王东帅 ;
蔡平 .
中国专利 :CN115654027B ,2025-07-15
[9]
一种高稳定性铜合金滑动轴承 [P]. 
刘永 ;
蔡杨 ;
王东帅 ;
蔡平 .
中国专利 :CN115654027A ,2023-01-31
[10]
一种双氧水系铜钼合金膜用蚀刻液 [P]. 
康威 ;
陈昊 ;
鄢艳华 .
中国专利 :CN104498951B ,2015-04-08
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