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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-09-05 | 授权 | 授权 |
| 2011-12-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101152730255 IPC(主分类):C23F 1/44 专利申请号:2011101101167 申请日:20110429 |
| 2015-06-17 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101614379656 IPC(主分类):C23F 1/44 专利号:ZL2011101101167 申请日:20110429 授权公告日:20120905 终止日期:20140429 |
| 2011-11-02 | 公开 | 公开 |