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硅片刻蚀装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120817871.8
申请日：
2021-04-20
公开(公告)号：
CN214624988U
公开(公告)日：
2021-11-05
发明(设计)人：
吴佳俊
申请人：
申请人地址：
213213 江苏省常州市金坛区尧塘镇金武路18号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258
代理人：
张云
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-05 | 授权 | 授权 |