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基板处理装置和气体导入板
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010192194.5
申请日：
2018-03-29
公开(公告)号：
CN111370285A
公开(公告)日：
2020-07-03
发明(设计)人：
小川裕之
大久保智也
清水昭贵
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-07-03 | 公开 | 公开 |
| 2020-07-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20180329 |