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等离子体处理装置和气体导入方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011309494.3
申请日：
2020-11-20
公开(公告)号：
CN112863987A
公开(公告)日：
2021-05-28
发明(设计)人：
宇田真代
鹤田学
丰田启吾
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;张会华
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20201120 |
| 2021-05-28 | 公开 | 公开 |