等离子体处理装置和气体喷淋头

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810567600.4

申请日：

2018-06-05

公开(公告)号：

CN108987234B

公开(公告)日：

2018-12-11

发明(设计)人：

佐佐木芳彦町山弥南雅人

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-14	授权	授权
2019-01-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20180605
2018-12-11	公开	公开

共 50 条

[1]

气体喷淋头及等离子体处理装置 [P].

叶如彬 ;

吴昊 .

中国专利 :CN215815786U ,2022-02-11

[2]

气体喷淋头以及等离子体处理装置 [P].

欧阳亮 .

中国专利 :CN215481251U ,2022-01-11

[3]

气体喷淋头及等离子体处理装置 [P].

朱生华 ;

杜若昕 ;

丛海 .

中国专利 :CN222953022U ,2025-06-06

[4]

气体喷淋头及等离子体处理装置 [P].

孔轩 ;

段蛟 ;

卢辰雨 ;

王孝 ;

钱俊 .

中国专利 :CN121034933A ,2025-11-28

[5]

气体喷淋头组件及等离子体处理装置 [P].

李晓磊 ;

张昭 ;

张凯 ;

李浩楠 ;

张富荣 .

中国专利 :CN223660210U ,2025-12-12

[6]

气体喷淋头组件及等离子体处理装置 [P].

李晓磊 ;

张昭 ;

张凯 ;

李浩楠 ;

张富荣 .

中国专利 :CN119859795A ,2025-04-22

[7]

等离子体处理装置和喷淋头 [P].

南雅人 ;

佐藤亮 ;

佐佐木芳彦 ;

边见笃 .

中国专利 :CN106340434A ,2017-01-18

[8]

喷淋头和等离子体处理装置 [P].

饭塚八城 .

中国专利 :CN101834120B ,2010-09-15

[9]

喷淋头和等离子体处理装置 [P].

南雅人 ;

佐佐木芳彦 .

中国专利 :CN110634725A ,2019-12-31

[10]

喷淋头和等离子体处理装置 [P].

广濑久 ;

辻本宏 ;

氏家智也 .

中国专利 :CN115513029A ,2022-12-23

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