等离子体处理装置和喷淋头

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610537014.6

申请日：

2016-07-08

公开(公告)号：

CN106340434A

公开(公告)日：

2017-01-18

发明(设计)人：

南雅人佐藤亮佐佐木芳彦边见笃

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳;王雪燕

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-02-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101703561633 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2016105370146 申请日:20160708
2017-01-18	公开	公开
2018-12-14	授权	授权

共 50 条

[1]

喷淋头和等离子体处理装置 [P].

南雅人 ;

佐佐木芳彦 .

中国专利 :CN110634725A ,2019-12-31

[2]

喷淋头和等离子体处理装置 [P].

广濑久 ;

辻本宏 ;

氏家智也 .

中国专利 :CN115513029A ,2022-12-23

[3]

喷淋头和等离子体处理装置 [P].

饭塚八城 .

中国专利 :CN101834120B ,2010-09-15

[4]

喷淋头的制造方法、喷淋头以及等离子体处理装置 [P].

佐佐木芳彦 ;

南雅人 .

中国专利 :CN114613656A ,2022-06-10

[5]

等离子体处理装置和气体喷淋头 [P].

佐佐木芳彦 ;

町山弥 ;

南雅人 .

中国专利 :CN108987234B ,2018-12-11

[6]

气体喷淋头及等离子体处理装置 [P].

叶如彬 ;

吴昊 .

中国专利 :CN215815786U ,2022-02-11

[7]

气体喷淋头以及等离子体处理装置 [P].

欧阳亮 .

中国专利 :CN215481251U ,2022-01-11

[8]

气体喷淋头及等离子体处理装置 [P].

朱生华 ;

杜若昕 ;

丛海 .

中国专利 :CN222953022U ,2025-06-06

[9]

气体喷淋头及等离子体处理装置 [P].

孔轩 ;

段蛟 ;

卢辰雨 ;

王孝 ;

钱俊 .

中国专利 :CN121034933A ,2025-11-28

[10]

气体喷淋头组件及等离子体处理装置 [P].

李晓磊 ;

张昭 ;

张凯 ;

李浩楠 ;

张富荣 .

中国专利 :CN223660210U ,2025-12-12

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