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喷淋头和等离子体处理装置
被引：0
申请号：
CN202210668642.3
申请日：
2022-06-14
公开(公告)号：
CN115513029A
公开(公告)日：
2022-12-23
发明(设计)人：
广濑久
辻本宏
氏家智也
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
龙淳;池兵
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-23 | 公开 | 公开 |