共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
气体喷淋头及等离子体处理装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121829082.2
申请日：
2021-08-06
公开(公告)号：
CN215815786U
公开(公告)日：
2022-02-11
发明(设计)人：
叶如彬
吴昊
申请人：
申请人地址：
201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
上海元好知识产权代理有限公司 31323
代理人：
张双红;张静洁
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-11 | 授权 | 授权 |