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进气装置及半导体工艺设备
被引：0
申请号：
CN202210575035.2
申请日：
2022-05-25
公开(公告)号：
CN114743903A
公开(公告)日：
2022-07-12
发明(设计)人：
刘胜明
郑波
荣延栋
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21768
代理机构：
北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315
代理人：
周永强
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20220525 |
| 2022-07-12 | 公开 | 公开 |