光学临近效应修正方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910109606.8

申请日：

2009-11-13

公开(公告)号：

CN102063010A

公开(公告)日：

2011-05-18

发明(设计)人：

王谨恒黄旭鑫张雷

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号

IPC主分类号：

G03F114

IPC分类号：

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

何平

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-04-03	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101558597161 IPC(主分类):G03F 1/14 专利申请号:2009101096068 申请公布日:20110518
2011-07-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101088111798 IPC(主分类):G03F 1/14 专利申请号:2009101096068 申请日:20091113
2011-05-18	公开	公开

共 50 条

[1]

光学临近效应修正方法 [P].

翟翠红 ;

张逸中 ;

于世瑞 .

中国专利 :CN109507847B ,2019-03-22

[2]

光学临近效应修正方法 [P].

王伟斌 .

中国专利 :CN101750876B ,2010-06-23

[3]

光学临近效应修正方法 [P].

陈翰 ;

魏芳 ;

张旭升 ;

储志浩 .

中国专利 :CN103309149A ,2013-09-18

[4]

光学临近效应修正方法 [P].

何大权 ;

魏芳 ;

张旭升 .

中国专利 :CN103309148A ,2013-09-18

[5]

光学临近效应修正方法 [P].

陈福成 .

中国专利 :CN103513506A ,2014-01-15

[6]

光学临近效应的修正方法 [P].

王飞舟 ;

张月雨 ;

汪悦 .

中国专利 :CN114740688B ,2025-12-09

[7]

光学临近效应的修正方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112764307A ,2021-05-07

[8]

光学临近效应的修正方法 [P].

王飞舟 ;

张月雨 ;

汪悦 .

中国专利 :CN114740688A ,2022-07-12

[9]

光学临近效应修正方法及其修正系统 [P].

李超宇 ;

于世瑞 .

中国专利 :CN110456615B ,2019-11-15

[10]

孔的光学临近效应修正方法 [P].

陈福成 ;

袁春雨 .

中国专利 :CN103048873A ,2013-04-17

← 1 2 3 4 5 →