光学临近效应修正方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810204777.4

申请日：

2008-12-17

公开(公告)号：

CN101750876B

公开(公告)日：

2010-06-23

发明(设计)人：

王伟斌

申请人：

申请人地址：

201203 上海市张江路18号

IPC主分类号：

G03F136

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-08-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101004902809 IPC(主分类):G03F 1/14 专利申请号:2008102047774 申请日:20081217
2010-06-23	公开	公开
2012-07-04	授权	授权

共 50 条

[1]

光学临近效应修正方法 [P].

翟翠红 ;

张逸中 ;

于世瑞 .

中国专利 :CN109507847B ,2019-03-22

[2]

光学临近效应修正方法 [P].

王谨恒 ;

黄旭鑫 ;

张雷 .

中国专利 :CN102063010A ,2011-05-18

[3]

光学临近效应修正方法 [P].

陈翰 ;

魏芳 ;

张旭升 ;

储志浩 .

中国专利 :CN103309149A ,2013-09-18

[4]

光学临近效应修正方法 [P].

何大权 ;

魏芳 ;

张旭升 .

中国专利 :CN103309148A ,2013-09-18

[5]

光学临近效应修正方法 [P].

陈福成 .

中国专利 :CN103513506A ,2014-01-15

[6]

光学临近效应的修正方法 [P].

王飞舟 ;

张月雨 ;

汪悦 .

中国专利 :CN114740688B ,2025-12-09

[7]

光学临近效应的修正方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112764307A ,2021-05-07

[8]

光学临近效应的修正方法 [P].

王飞舟 ;

张月雨 ;

汪悦 .

中国专利 :CN114740688A ,2022-07-12

[9]

光学临近效应修正方法及其修正系统 [P].

李超宇 ;

于世瑞 .

中国专利 :CN110456615B ,2019-11-15

[10]

孔的光学临近效应修正方法 [P].

陈福成 ;

袁春雨 .

中国专利 :CN103048873A ,2013-04-17

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