孔的光学临近效应修正方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110309664.2

申请日：

2011-10-13

公开(公告)号：

CN103048873A

公开(公告)日：

2013-04-17

发明(设计)人：

陈福成袁春雨

申请人：

申请人地址：

201206 上海市浦东新区川桥路1188号

IPC主分类号：

G03F136

IPC分类号：

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

刘昌荣

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-04-17	公开	公开
2015-01-07	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101709428102 IPC(主分类):G03F 1/36 专利申请号:2011103096642 申请公布日:20130417
2013-05-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101457118295 IPC(主分类):G03F 1/36 专利申请号:2011103096642 申请日:20111013
2014-02-05	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101689706056 IPC(主分类):G03F 1/36 专利申请号:2011103096642 变更事项:申请人变更前权利人:上海华虹NEC电子有限公司变更后权利人:上海华虹宏力半导体制造有限公司变更事项:地址变更前权利人:201206 上海市浦东新区川桥路1188号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号登记生效日:20140109

共 50 条

[1]

光学临近效应修正方法 [P].

陈福成 .

中国专利 :CN103513506A ,2014-01-15

[2]

光学临近效应修正方法 [P].

翟翠红 ;

张逸中 ;

于世瑞 .

中国专利 :CN109507847B ,2019-03-22

[3]

光学临近效应修正方法 [P].

王谨恒 ;

黄旭鑫 ;

张雷 .

中国专利 :CN102063010A ,2011-05-18

[4]

光学临近效应修正方法 [P].

王伟斌 .

中国专利 :CN101750876B ,2010-06-23

[5]

光学临近效应修正方法 [P].

陈翰 ;

魏芳 ;

张旭升 ;

储志浩 .

中国专利 :CN103309149A ,2013-09-18

[6]

光学临近效应修正方法 [P].

何大权 ;

魏芳 ;

张旭升 .

中国专利 :CN103309148A ,2013-09-18

[7]

光学临近效应的修正方法 [P].

王飞舟 ;

张月雨 ;

汪悦 .

中国专利 :CN114740688B ,2025-12-09

[8]

光学临近效应的修正方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112764307A ,2021-05-07

[9]

光学临近效应的修正方法 [P].

王飞舟 ;

张月雨 ;

汪悦 .

中国专利 :CN114740688A ,2022-07-12

[10]

覆盖形貌的光学临近效应修正方法 [P].

陈福成 ;

阚欢 .

中国专利 :CN102486605A ,2012-06-06

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