一种薄膜生产用厚度检测装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201620775138.3
申请日
2016-07-22
公开(公告)号
CN205825934U
公开(公告)日
2016-12-21
发明(设计)人
瞿荣灿 周能民 丁声福 方意坚
申请人
申请人地址
343000 江西省吉安市国家井岗山经济技术开发区深圳大道286号
IPC主分类号
G01B2108
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
国省代码
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共 50 条
[1]
一种薄膜生产用厚度检测装置 [P]. 
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一种用于薄膜生产的厚度检测装置 [P]. 
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