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一种薄膜生产用厚度检测装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201922202620.4
申请日：
2019-12-11
公开(公告)号：
CN211042152U
公开(公告)日：
2020-07-17
发明(设计)人：
李滨
申请人：
申请人地址：
351111 福建省莆田市涵江区江口镇四十米路
IPC主分类号：
G01B2108
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-11-18 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 21/08 申请日:20191211 授权公告日:20200717 终止日期:20211211 |
| 2020-07-17 | 授权 | 授权 |