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一种用于薄膜生产的厚度检测装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021229629.0
申请日：
2020-06-29
公开(公告)号：
CN212206016U
公开(公告)日：
2020-12-22
发明(设计)人：
郑少鹏
申请人：
申请人地址：
510000 广东省广州市海珠区广州大道南863号901房
IPC主分类号：
G01B2108
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-06-14 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 21/08 申请日:20200629 授权公告日:20201222 终止日期:20210629 |
| 2020-12-22 | 授权 | 授权 |