一种激光直写系统与光刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410042111.9

申请日：

2014-01-28

公开(公告)号：

CN103744271B

公开(公告)日：

2014-04-23

发明(设计)人：

朱鹏飞浦东林胡进陈林森朱鸣魏国军

申请人：

申请人地址：

215123 江苏省苏州市工业园区钟南街478号

IPC主分类号：

G03F7207

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

唐灵;常亮

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-04	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/207 变更事项:专利权人变更前:苏州苏大维格光电科技股份有限公司变更后:苏州苏大维格科技集团股份有限公司变更事项:地址变更前:215123 江苏省苏州市工业园区钟南街478号变更后:215123 江苏省苏州市工业园区钟南街478号
2014-05-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582390937 IPC(主分类):G03F 7/207 专利申请号:2014100421119 申请日:20140128
2014-04-23	公开	公开
2015-10-28	授权	授权

共 50 条

[1]

一种激光直写光刻系统 [P].

付跃刚 ;

吴锦双 .

中国专利 :CN110187610A ,2019-08-30

[2]

一种激光直写方法和激光直写系统 [P].

贾富强 ;

丘国雄 ;

冯涣 ;

陈银榕 ;

李巍伟 ;

叶泽群 .

中国专利 :CN114346449A ,2022-04-15

[3]

直写光刻系统和直写光刻方法 [P].

浦东林 ;

朱鹏飞 ;

朱鸣 ;

邵仁锦 ;

张瑾 ;

王冠楠 ;

陈林森 .

中国专利 :CN112987501B ,2021-06-18

[4]

一种并行激光直写系统及光刻方法 [P].

浦东林 ;

胡进 ;

朱鹏飞 ;

魏国军 ;

袁晓峰 ;

陈林森 .

中国专利 :CN103777474A ,2014-05-07

[5]

一种用于绿油光刻的激光直写光刻系统及方法 [P].

陈修涛 .

中国专利 :CN113126449A ,2021-07-16

[6]

激光直写方法、控制设备及激光直写系统 [P].

朱鹏飞 ;

浦东林 ;

张瑾 ;

朱鸣 ;

邵仁锦 ;

王钦华 ;

徐顺达 ;

周文辉 ;

陈林森 .

中国专利 :CN118057242A ,2024-05-21

[7]

激光直写方法、控制设备及激光直写系统 [P].

朱鹏飞 ;

浦东林 ;

张瑾 ;

朱鸣 ;

邵仁锦 ;

王钦华 ;

徐顺达 ;

周文辉 ;

陈林森 .

中国专利 :CN118057242B ,2024-12-10

[8]

一种激光直写系统 [P].

贾富强 ;

丘国雄 ;

冯涣 ;

陈银榕 ;

李巍伟 ;

叶泽群 .

中国专利 :CN216882272U ,2022-07-05

[9]

光纤激光直写系统和光纤激光直写方法 [P].

孙琦 ;

罗昊 ;

张娜 ;

孙秋媛 ;

匡翠方 .

中国专利 :CN117518745A ,2024-02-06

[10]

一种并行穿插高速激光直写光刻的方法与装置 [P].

匡翠方 ;

王洪庆 ;

王子昂 ;

杨臻垚 ;

汤孟博 ;

詹兰馨 ;

张晓依 ;

温积森 ;

刘旭 .

中国专利 :CN113909698A ,2022-01-11

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