基板检查装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410261002.6

申请日：

2014-06-12

公开(公告)号：

CN104237669A

公开(公告)日：

2014-12-24

发明(设计)人：

山下宗寛

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

G01R3100

IPC分类号：

代理机构：

北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363

代理人：

郭放;许伟群

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-14	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01R 31/00 申请公布日:20141224
2016-05-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101659093221 IPC(主分类):G01R 31/00 专利申请号:2014102610026 申请日:20140612
2014-12-24	公开	公开

共 50 条

[1]

基板检查装置以及基板检查方法 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN105137255A ,2015-12-09

[2]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

戒田理夫 .

中国专利 :CN1996028A ,2007-07-11

[3]

基板检查方法及基板检查装置 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN105510798A ,2016-04-20

[4]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN101191811A ,2008-06-04

[5]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

角田晴美 .

中国专利 :CN101454680A ,2009-06-10

[6]

基板检查方法和基板检查装置 [P].

久野和哉 ;

清富晶子 .

中国专利 :CN110739240A ,2020-01-31

[7]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

中村昭彦 ;

铃木芳邦 .

中国专利 :CN1815250B ,2006-08-09

[8]

基板检查方法和基板检查装置 [P].

久野和哉 ;

清富晶子 .

日本专利 :CN110739240B ,2024-06-28

[9]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

山下宗宽 ;

辻英明 .

中国专利 :CN102879646B ,2013-01-16

[10]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

山田浩史 .

中国专利 :CN109863414A ,2019-06-07

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