一种单晶碳化硅晶片的清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921908562.0

申请日：

2019-11-07

公开(公告)号：

CN211757120U

公开(公告)日：

2020-10-27

发明(设计)人：

沈泽康陈晓静

申请人：

申请人地址：

224000 江苏省盐城市盐城经济技术开发区综合保税区纽约中路1号3号标准厂房

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B310 B08B1300

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-27	授权	授权

共 50 条

[1]

一种实用单晶碳化硅晶片的清洗装置 [P].

陈文鹏 ;

张洁 ;

林武庆 ;

赖柏帆 .

中国专利 :CN208873702U ,2019-05-17

[2]

碳化硅晶片清洗装置 [P].

徐良 ;

曹力力 ;

蓝文安 ;

刘建哲 ;

余雅俊 ;

夏建白 ;

李京波 ;

郭炜 ;

叶继春 .

中国专利 :CN211757266U ,2020-10-27

[3]

一种碳化硅晶片表面清洗装置 [P].

贺贤汉 ;

赖章田 ;

陈有生 ;

张城 .

中国专利 :CN216880709U ,2022-07-05

[4]

一种用于碳化硅晶片研磨后的清洗装置 [P].

贺贤汉 ;

周杰 ;

李有群 ;

陈辉 ;

孙大方 .

中国专利 :CN216504318U ,2022-05-13

[5]

一种高效节能的碳化硅晶片清洗装置 [P].

李有群 ;

陈辉 ;

贺贤汉 ;

王升 ;

卓世异 ;

周杰 ;

孙大方 .

中国专利 :CN216501040U ,2022-05-13

[6]

一种碳化硅晶片的清洗方法和清洗后碳化硅晶片 [P].

李文文 ;

宋贤震 ;

袁振洲 ;

刘欣宇 .

中国专利 :CN119725077A ,2025-03-28

[7]

一种单晶碳化硅晶片加工装置 [P].

林武庆 ;

张洁 ;

苏双图 ;

陈文鹏 .

中国专利 :CN211028572U ,2020-07-17

[8]

一种单晶碳化硅晶片加工装置 [P].

刘敏 .

中国专利 :CN214361823U ,2021-10-08

[9]

一种碳化硅单晶片的镀膜装置 [P].

李海飞 ;

李百泉 ;

何丽娟 ;

张云伟 .

中国专利 :CN204529974U ,2015-08-05

[10]

碳化硅单晶锭、碳化硅晶片和碳化硅单晶的制造方法 [P].

别役洁 ;

星乃纪博 ;

镰田功穗 ;

土田秀一 ;

冈本武志 ;

神田贵裕 .

日本专利 :CN117822118A ,2024-04-05

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