一种硅片翻转装置及使用方法和硅片生产系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011029002.5

申请日：

2020-09-27

公开(公告)号：

CN112259483A

公开(公告)日：

2021-01-22

发明(设计)人：

董平博邱其伟王彦齐

申请人：

申请人地址：

215299 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

北京金智普华知识产权代理有限公司 11401

代理人：

蓝晓玉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20200927
2021-01-22	公开	公开

共 50 条

[1]

一种硅片翻转装置及使用方法和硅片生产系统 [P].

董平博 ;

邱其伟 ;

王彦齐 .

中国专利 :CN112259483B ,2025-04-18

[2]

一种硅片翻转装置和硅片生产系统 [P].

董平博 ;

邱其伟 ;

王彦齐 .

中国专利 :CN213212130U ,2021-05-14

[3]

硅片翻转装置及硅片生产系统 [P].

王崇宇 .

中国专利 :CN222785272U ,2025-04-22

[4]

一种硅片翻转装置及硅片翻转输送系统 [P].

张天 ;

陈友好 ;

田军 .

中国专利 :CN213093216U ,2021-04-30

[5]

一种晶棒翻转装置及硅片生产系统 [P].

魏兴星 ;

王慧智 ;

刘立新 ;

王虎 ;

姜树人 ;

袁海军 ;

杜康 ;

田兴武 .

中国专利 :CN217126096U ,2022-08-05

[6]

硅片翻转装置及硅片镀膜处理系统 [P].

林佳继 ;

朱鹤囡 ;

戴佳 .

中国专利 :CN115637423A ,2023-01-24

[7]

硅片的干燥装置及硅片生产系统 [P].

杜俊霖 ;

周旭 ;

唐坤 ;

何雷雨 ;

范松港 .

中国专利 :CN216977356U ,2022-07-15

[8]

硅片烘干槽及硅片生产系统 [P].

杨健 ;

党继东 .

中国专利 :CN207134339U ,2018-03-23

[9]

硅片花篮及硅片生产系统 [P].

王会 ;

谭建辉 ;

戴向荣 .

中国专利 :CN216818291U ,2022-06-24

[10]

一种硅片篮翻转装置 [P].

崔振强 ;

靳立辉 ;

王国瑞 ;

任志高 ;

杨骅 ;

高翔 ;

赵晓光 ;

刘奇 .

中国专利 :CN208307817U ,2019-01-01

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