一种二维氮化镓膜的限域模板制备方法、制得的二维氮化镓膜

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110822741.8

申请日：

2021-08-13

公开(公告)号：

CN113549898A

公开(公告)日：

2021-10-26

发明(设计)人：

于欣欣张起瑞吴长征周扬王大军杨广

申请人：

申请人地址：

236000 安徽省合肥市经济技术开发区习友路5999号清华大学合肥公共安全研究院1号楼

IPC主分类号：

C23C1634

IPC分类号：

C23C1601 C23C2602 C23C812

代理机构：

合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124

代理人：

缪璐欢

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/34 申请日:20210813
2021-10-26	公开	公开

共 50 条

[1]

二维氮化镓晶体的制备方法 [P].

李春晓 ;

宋文涛 ;

徐耿钊 ;

刘争晖 ;

张春玉 ;

陈科蓓 ;

韩厦 ;

徐科 .

中国专利 :CN114232083A ,2022-03-25

[2]

二维氮化镓晶体的制备方法 [P].

吴伟汉 ;

宋文涛 ;

徐耿钊 ;

刘争晖 ;

张春玉 ;

陈科蓓 ;

韩厦 ;

徐科 .

中国专利 :CN115652436A ,2023-01-31

[3]

一种利用液态金属镓制备大尺寸二维晶态氮化镓的方法 [P].

张骐 ;

呼布钦 ;

李馨 ;

徐旻轩 .

中国专利 :CN115142134A ,2022-10-04

[4]

一种硅基二维氮化镓及其范德华外延制备方法、应用 [P].

何军 ;

程瑞清 ;

尹蕾 ;

文耀 ;

姜健 .

中国专利 :CN115295397B ,2025-03-21

[5]

一种二维氮化镓材料及其制备方法 [P].

王文樑 ;

江弘胜 ;

李国强 .

中国专利 :CN115449776A ,2022-12-09

[6]

一种利用多层二维晶体掩膜制备氮化镓单晶衬底的方法 [P].

王新强 ;

刘放 ;

刘强 ;

郭昱成 ;

吴洁君 ;

于彤军 ;

沈波 ;

张国义 .

中国专利 :CN115579280A ,2023-01-06

[7]

一种高能球磨制备二维氮化镓单晶的方法 [P].

王国栋 ;

王忠新 ;

张雷 ;

王泰林 ;

俞娇仙 ;

赵刚 .

中国专利 :CN113151888A ,2021-07-23

[8]

二维氮化铝晶体的制备方法 [P].

王雨微 ;

宋文涛 ;

徐耿钊 ;

刘争晖 ;

张春玉 ;

陈科蓓 ;

韩厦 ;

徐科 .

中国专利 :CN114381806A ,2022-04-22

[9]

一种大面积二维氮化镓薄膜及其制备方法 [P].

陈星源 ;

汪潇涵 ;

李治文 ;

徐祥福 .

中国专利 :CN111690908B ,2020-09-22

[10]

形成氮化镓膜的方法 [P].

元京勋 ;

安民宇 ;

尹舒俊 ;

金起德 ;

石州熙 ;

黄喆周 .

韩国专利 :CN120770064A ,2025-10-10

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