对准系统和对准标记

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710045496.4

申请日：

2007-08-31

公开(公告)号：

CN100527000C

公开(公告)日：

2008-04-09

发明(设计)人：

李运锋韦学志徐荣伟陈勇辉周畅

申请人：

申请人地址：

201203上海市张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所

代理人：

屈蘅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-08-12	授权	授权
2008-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-04-09	公开	公开
2017-06-23	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101754148480 IPC(主分类):G03F 9/00 专利号:ZL2007100454964 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号

共 50 条

[1]

对准系统及对准标记 [P].

郑谕潍 ;

陈建豪 .

中国专利 :CN114384769B ,2024-05-14

[2]

对准系统及对准标记 [P].

郑谕潍 ;

陈建豪 .

中国专利 :CN114384769A ,2022-04-22

[3]

用于光刻装置的对准系统和标记、对准方法以及光刻装置 [P].

徐荣伟 ;

韦学志 ;

杜聚有 .

中国专利 :CN101251725A ,2008-08-27

[4]

归一化对准标记组合及其对准方法和对准系统 [P].

李焕炀 ;

宋海军 ;

胡明辉 ;

严天宏 ;

周畅 .

中国专利 :CN101271281A ,2008-09-24

[5]

对准方法、对准系统以及具有对准标记的产品 [P].

萨米·穆萨 ;

理查德·约翰尼斯·弗朗西斯克斯·范哈恩 ;

桑雅辛格·拉尔巴哈朵尔辛 ;

魏秀虹 .

中国专利 :CN101458464B ,2009-06-17

[6]

测量对准标记或对准标记组件的方法、对准系统和光刻工具 [P].

F·G·C·比杰南 ;

R·布林克霍夫 .

中国专利 :CN113632013A ,2021-11-09

[7]

用于光刻装置的对准标记、对准系统及其对准方法 [P].

胡明辉 ;

宋海军 ;

王海江 .

中国专利 :CN101581889B ,2009-11-18

[8]

用于光刻设备的对准系统、对准方法及增强型对准标记 [P].

李运锋 ;

韦学志 ;

徐荣伟 ;

宋海军 .

中国专利 :CN101303533B ,2008-11-12

[9]

对准系统 [P].

杜尔穆什·阿里·沙欣 .

:CN118019690A ,2024-05-10

[10]

对准系统 [P].

J·J·科里 .

中国专利 :CN102272556A ,2011-12-07

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