对准方法、对准系统以及具有对准标记的产品

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810185523.2

申请日：

2008-12-12

公开(公告)号：

CN101458464B

公开(公告)日：

2009-06-17

发明(设计)人：

萨米·穆萨理查德·约翰尼斯·弗朗西斯克斯·范哈恩桑雅辛格·拉尔巴哈朵尔辛魏秀虹

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王波波

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-08-12	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-06-17	公开	公开
2013-03-27	授权	授权

共 50 条

[1]

对准系统及对准标记 [P].

郑谕潍 ;

陈建豪 .

中国专利 :CN114384769B ,2024-05-14

[2]

对准系统和对准标记 [P].

李运锋 ;

韦学志 ;

徐荣伟 ;

陈勇辉 ;

周畅 .

中国专利 :CN100527000C ,2008-04-09

[3]

对准系统及对准标记 [P].

郑谕潍 ;

陈建豪 .

中国专利 :CN114384769A ,2022-04-22

[4]

具有对准标记体系的机器视觉对准系统及其对准方法 [P].

徐兵 ;

周畅 ;

蔡巍 ;

谢威 ;

周金明 .

中国专利 :CN101241319B ,2008-08-13

[5]

对准系统、对准方法以及程序 [P].

杉山佳大 ;

李伟浩 ;

浅野祐司 .

日本专利 :CN119547030A ,2025-02-28

[6]

对准系统、对准方法以及程序 [P].

浅野祐司 ;

李伟浩 ;

杉山佳大 .

日本专利 :CN119487471A ,2025-02-18

[7]

用于光刻装置的对准标记、对准系统及其对准方法 [P].

胡明辉 ;

宋海军 ;

王海江 .

中国专利 :CN101581889B ,2009-11-18

[8]

对准方法及对准系统 [P].

温海涛 ;

王绍勇 ;

王连胜 ;

康颖 ;

张健 .

中国专利 :CN112838038A ,2021-05-25

[9]

对准系统及对准方法 [P].

陈鲁 ;

李青格乐 ;

江博闻 ;

蒋璐翔 .

中国专利 :CN112710237B ,2021-04-27

[10]

对准方法及对准系统 [P].

张强 ;

郝静安 .

中国专利 :CN107367911A ,2017-11-21

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