用于微电子基板的稳定的非水清洁组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200780005662.6

申请日：

2007-01-31

公开(公告)号：

CN101384694A

公开(公告)日：

2009-03-11

发明(设计)人：

肖恩·M·凯恩

申请人：

申请人地址：

美国新泽西州

IPC主分类号：

C11D706

IPC分类号：

C11D750 C11D732 C11D734 G03F742 H01L2102

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

张平元

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-03-11	公开	公开
2011-03-16	授权	授权
2017-05-31	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101752092921 IPC(主分类):C11D 7/06 专利号:ZL2007800056626 登记生效日:20170508 变更事项:专利权人变更前权利人:安万托特性材料股份有限公司变更后权利人:安万托特性材料有限责任公司变更事项:地址变更前权利人:美国新泽西州变更后权利人:美国宾夕法尼亚州
2009-05-06	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

非水的、非腐蚀性的微电子清洁组合物 [P].

稻冈诚二 .

中国专利 :CN1784487A ,2006-06-07

[2]

用于微电子基底的清洁组合物 [P].

许建斌 .

中国专利 :CN102135735A ,2011-07-27

[3]

用于微电子基底的清洁组合物 [P].

许建斌 .

中国专利 :CN1659480A ,2005-08-24

[4]

用于清洗微电子基底的稳定的碱性组合物 [P].

D·C·斯基 .

中国专利 :CN1205325C ,2004-01-21

[5]

含果糖的非水性微电子清洁组合物 [P].

稻冈诚二 .

中国专利 :CN1985217B ,2007-06-20

[6]

用于微电子设备的剥离和清洁组合物 [P].

约瑟夫·M·伊拉尔迪 ;

戴维·C·斯基 ;

肖恩·M·凯恩 ;

卡伦·E·特罗瓦利 .

中国专利 :CN1839355B ,2006-09-27

[7]

微电子基底清洁组合物 [P].

威廉·R·格米尔 .

中国专利 :CN101959977A ,2011-01-26

[8]

微电子装置清洁组合物 [P].

刘俊 ;

王朝钰 ;

D·怀特 ;

M·L·怀特 .

美国专利 :CN119032157A ,2024-11-26

[9]

微电子装置清洁组合物 [P].

A·K·达斯 ;

D·怀特 ;

M·L·怀特 ;

刘俊 ;

A·D·维尔马 .

美国专利 :CN118369411A ,2024-07-19

[10]

微电子衬底的清洗组合物 [P].

肖恩·M·凯恩 .

中国专利 :CN1993457B ,2007-07-04

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