用于清洗微电子基底的稳定的碱性组合物

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专利类型
发明
申请号
CN01817467.1
申请日
2001-09-28
公开(公告)号
CN1205325C
公开(公告)日
2004-01-21
发明(设计)人
D·C·斯基
申请人
申请人地址
美国密苏里州
IPC主分类号
C11D300
IPC分类号
C11D732 C11D726 G03F742
代理机构
中国专利代理(香港)有限公司
代理人
钟守期;郭广迅
法律状态
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码
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共 50 条
[1]
用于清洗微电子衬底的含硅酸盐碱性组合物 [P]. 
D·C·斯基 .
中国专利 :CN100370360C ,2001-08-22
[2]
用于微电子基底的清洁组合物 [P]. 
许建斌 .
中国专利 :CN102135735A ,2011-07-27
[3]
用于微电子基底的清洁组合物 [P]. 
许建斌 .
中国专利 :CN1659480A ,2005-08-24
[4]
微电子基底清洁组合物 [P]. 
威廉·R·格米尔 .
中国专利 :CN101959977A ,2011-01-26
[5]
用于微电子的剥离和清洗组合物 [P]. 
肖恩·M·凯恩 ;
金尚仁 .
中国专利 :CN1580221B ,2005-02-16
[6]
具有改进的基板相容性的无氨碱性微电子清洗组合物 [P]. 
奇恩-平·S·许 .
中国专利 :CN102399651A ,2012-04-04
[7]
具有改进的基板相容性的无氨碱性微电子清洗组合物 [P]. 
奇恩-平·S·许 .
中国专利 :CN1656206A ,2005-08-17
[8]
具有改进的基板相容性的无氨碱性微电子清洗组合物 [P]. 
奇恩-平·S·许 .
中国专利 :CN1526007A ,2004-09-01
[9]
用于微电子基板的稳定的非水清洁组合物 [P]. 
肖恩·M·凯恩 .
中国专利 :CN101384694A ,2009-03-11
[10]
微电子衬底的清洗组合物 [P]. 
肖恩·M·凯恩 .
中国专利 :CN1993457B ,2007-07-04