用于清洗微电子衬底的含硅酸盐碱性组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN99808801.3

申请日：

1999-05-17

公开(公告)号：

CN100370360C

公开(公告)日：

2001-08-22

发明(设计)人：

D·C·斯基

申请人：

申请人地址：

美国密苏里州黑兹尔伍德

IPC主分类号：

G03F742

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

卢新华;罗才希

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-21	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/42 登记生效日:20171102 变更事项:专利权人变更前权利人:阿万特高性能材料公司变更后权利人:阿万特性能材料有限责任公司变更事项:地址变更前权利人:美国新泽西州变更后权利人:美国宾夕法尼亚州
2019-06-11	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):G03F 7/42 申请日:19990517 授权公告日:20080220
2001-08-22	公开	公开
2008-02-20	授权	授权
2011-04-06	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101080092335 IPC(主分类):G03F 7/42 专利号:ZL998088013 变更事项:专利权人变更前:马林克罗特贝克公司变更后:阿万特高性能材料公司变更事项:地址变更前:美国新泽西州变更后:美国新泽西州
2001-08-29	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
2011-03-02	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101070684994 IPC(主分类):G03F 7/42 专利号:ZL998088013 变更事项:专利权人变更前权利人:马林克罗特有限公司变更后权利人:马林克罗特贝克公司变更事项:地址变更前权利人:美国密苏里州黑兹尔伍德变更后权利人:美国新泽西州登记生效日:20110113

共 50 条

[1]

用于清洗微电子基底的稳定的碱性组合物 [P].

D·C·斯基 .

中国专利 :CN1205325C ,2004-01-21

[2]

微电子衬底的清洗组合物 [P].

肖恩·M·凯恩 .

中国专利 :CN1993457B ,2007-07-04

[3]

用于微电子器件的有机硅酸盐树脂配方 [P].

K·K·拜克里卡尔 ;

S·冯 ;

J·E·黑茨内尔 ;

J·M·马厄 ;

M·E·米尔斯 ;

P·J·波帕 ;

R·J·斯特里特马特 ;

L·R·威尔逊 .

中国专利 :CN1768418B ,2006-05-03

[4]

含水硅酸盐组合物 [P].

J·M·克里斯藤森 .

中国专利 :CN1211197A ,1999-03-17

[5]

钛-硅酸盐组合物 [P].

乐迈德 ;

马库斯 ;

弗拉尼根 .

中国专利 :CN85103846A ,1986-11-05

[6]

用于制备硅酸盐板的组合物 [P].

何塞·玛丽亚·特赫拉·马丁内斯 .

中国专利 :CN1361843A ,2002-07-31

[7]

层状硅酸盐组合物的制备方法、层状硅酸盐组合物及其用途 [P].

J·卓杰诺维克 ;

F·鲁弗 .

中国专利 :CN102282105B ,2011-12-14

[8]

层状硅酸盐阻燃组合物 [P].

R·普芬德 ;

C·D·帕帕斯皮瑞德斯 ;

P·K·基拉瑞斯 .

中国专利 :CN102257070A ,2011-11-23

[9]

不含硅酸盐的显影剂组合物 [P].

M.勒瓦农 ;

L.阿斯卡斯基 .

中国专利 :CN103189803A ,2013-07-03

[10]

层状硅酸盐和含有该硅酸盐的热塑性树脂组合物 [P].

河野一辉 ;

城户伸明 ;

松村俊一 .

中国专利 :CN100475696C ,2006-12-20

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