一种制备区熔硅单晶的铸造区熔气掺法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210059754.5
申请日
2012-03-08
公开(公告)号
CN102534751A
公开(公告)日
2012-07-04
发明(设计)人
张雪囡 高树良 王彦君 李建宏 沈浩平
申请人
申请人地址
300384 天津市西青区华苑产业园区环外海泰东路12号
IPC主分类号
C30B1312
IPC分类号
C30B1328 C30B2906
代理机构
天津中环专利商标代理有限公司 12105
代理人
莫琪
法律状态
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码
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共 50 条
[1]
一种制造区熔硅单晶的直拉区熔气掺法 [P]. 
李建宏 ;
菅瑞娟 ;
张雪囡 ;
徐强 ;
王刚 ;
汪雨田 ;
沈浩平 .
中国专利 :CN102534752A ,2012-07-04
[2]
一种有效提高区熔硅单晶径向电阻率均匀性的直拉区熔气掺法 [P]. 
张雪囡 ;
菅瑞娟 ;
徐强 ;
李建宏 ;
王彦君 ;
沈浩平 .
中国专利 :CN102534753A ,2012-07-04
[3]
液体涂抹法区熔硅单晶的掺锗方法 [P]. 
李养贤 ;
刘彩池 ;
郝秋艳 ;
黄千驷 .
中国专利 :CN1749448A ,2006-03-22
[4]
生产硅单晶的直拉区熔法 [P]. 
沈浩平 ;
李翔 ;
汪雨田 ;
昝兴利 .
中国专利 :CN1095505C ,2000-09-27
[5]
一种气相重掺硼区熔硅单晶的制备方法 [P]. 
高树良 ;
张雪囡 ;
王彦君 ;
王岩 ;
王遵义 ;
周卫斌 ;
郝一巍 ;
沈浩平 .
中国专利 :CN102061514B ,2011-05-18
[6]
一种掺杂区熔硅单晶的制备方法 [P]. 
刘志伟 ;
闫志瑞 ;
陈海滨 ;
付斌 ;
黄龙辉 ;
李明飞 .
中国专利 :CN103866375A ,2014-06-18
[7]
大直径区熔硅单晶制备方法 [P]. 
沈浩平 ;
刘为钢 ;
高福林 ;
高树良 ;
李翔 ;
汪雨田 .
中国专利 :CN1292101C ,2006-01-25
[8]
一种气相掺杂区熔硅单晶的制备方法 [P]. 
王永涛 ;
尚锐刚 ;
刘建涛 ;
李明飞 ;
鲁进军 ;
张建 ;
闫志瑞 .
中国专利 :CN111270300A ,2020-06-12
[9]
一种气相重掺磷区熔硅单晶的生产方法 [P]. 
高树良 ;
王彦君 ;
张雪囡 ;
周卫斌 ;
王岩 ;
王刚 ;
赵宏波 ;
沈浩平 .
中国专利 :CN101979719A ,2011-02-23
[10]
一种提高区熔硅单晶熔区热稳定的导流筒 [P]. 
李伟凡 ;
王遵义 ;
孙健 ;
王彦君 .
中国专利 :CN213327922U ,2021-06-01