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半导体装置组合件、半导体装置及其制作方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811339493.6
申请日：
2018-11-12
公开(公告)号：
CN109872968A
公开(公告)日：
2019-06-11
发明(设计)人：
欧文·R·费伊
阿克沙伊·N·辛格
凯尔·K·柯比
申请人：
申请人地址：
美国爱达荷州
IPC主分类号：
H01L21768
IPC分类号：
代理机构：
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人：
王龙
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-06-11 | 公开 | 公开 |
| 2019-07-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20181112 |