一种磁控溅射镀膜治具

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821952266.6

申请日：

2018-11-26

公开(公告)号：

CN209276621U

公开(公告)日：

2019-08-20

发明(设计)人：

张威周常河刘年生丁自强马帅

申请人：

申请人地址：

225600 江苏省扬州市高邮市城南经济新区中心大道118号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1450

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-20	授权	授权
2022-06-07	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 登记号:Y2022320000226 登记生效日:20220520 出质人:江苏星浪光学仪器有限公司质权人:高邮市园区企业投资二号基金（有限合伙）实用新型名称:一种磁控溅射镀膜治具申请日:20181126 授权公告日:20190820

共 50 条

[1]

磁控溅射镀膜治具清洗夹具 [P].

李辉 ;

陆旺 ;

宋嵩 .

中国专利 :CN210614600U ,2020-05-26

[2]

溅射镀膜治具 [P].

李胜彪 ;

汪凯 ;

王利维 ;

许伟 ;

郝杰 ;

张贤祝 .

中国专利 :CN218435929U ,2023-02-03

[3]

一种用于薄膜电阻磁控溅射镀膜的治具 [P].

林来福 ;

严勇 ;

潘甲东 ;

潘云 ;

赵章迅 .

中国专利 :CN222226528U ,2024-12-24

[4]

一种用于降低磁控溅射镀膜腔体温度的治具 [P].

汤上金 ;

袁安平 ;

刘立筠 ;

邢发军 .

中国专利 :CN206512271U ,2017-09-22

[5]

一种新型磁控溅射镀膜装置载具 [P].

欧阳俊鑫 ;

马英鹤 ;

吴鹏 ;

李正阳 ;

朱先帅 ;

郑文健 .

中国专利 :CN213977865U ,2021-08-17

[6]

磁控溅射镀膜设备 [P].

刘玉华 ;

方凤军 .

中国专利 :CN204455279U ,2015-07-08

[7]

磁控溅射镀膜设备 [P].

蒋文彬 ;

李宁 ;

孙忠 ;

黄智 ;

林锦华 ;

梁师国 ;

英文 ;

李保良 .

中国专利 :CN204474751U ,2015-07-15

[8]

磁控溅射镀膜设备 [P].

张心凤 ;

郑杰 ;

尹辉 .

中国专利 :CN204752843U ,2015-11-11

[9]

磁控溅射镀膜设备 [P].

臧世伟 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222455186U ,2025-02-11

[10]

磁控溅射镀膜仪 [P].

邾根祥 ;

方辉 ;

江晓平 ;

朱沫浥 ;

王卫 .

中国专利 :CN205821445U ,2016-12-21

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