一种晶圆边缘抛光装置及其抛光方法

被引：0

申请号：

CN202211151277.5

申请日：

2022-09-21

公开(公告)号：

CN115365935A

公开(公告)日：

2022-11-22

发明(设计)人：

刘超李中云

申请人：

申请人地址：

221000 江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区辽河路以北华山路以西半导体材料和设备产业园C2号厂房

IPC主分类号：

B24B906

IPC分类号：

B24B4100 B24B4104 B24B4106 B24B4712

代理机构：

北京和联顺知识产权代理有限公司 11621

代理人：

刘洪彪

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 9/06 申请日:20220921
2022-11-22	公开	公开

共 50 条

[1]

边缘抛光头、晶圆边缘抛光装置和晶圆边缘抛光方法 [P].

梅晓熙 ;

张世凯 ;

常福佳 .

美国专利 :CN119820448A ,2025-04-15

[2]

晶圆边缘抛光装置及晶圆边缘抛光方法 [P].

潘雪明 ;

李鑫 ;

苏静洪 .

中国专利 :CN109877694A ,2019-06-14

[3]

一种晶圆边缘抛光装置和抛光方法 [P].

路新春 ;

郭垒 ;

邢浩鑫 ;

杨洪建 .

中国专利 :CN120287146A ,2025-07-11

[4]

晶圆边缘抛光方法和抛光装置 [P].

王凯杰 ;

王科 ;

郭垒 ;

刘浩洋 ;

庄鑫 .

中国专利 :CN119369244B ,2025-04-15

[5]

晶圆边缘抛光方法和抛光装置 [P].

王凯杰 ;

王科 ;

郭垒 ;

刘浩洋 ;

庄鑫 .

中国专利 :CN119897783A ,2025-04-29

[6]

晶圆边缘抛光方法和抛光装置 [P].

王凯杰 ;

王科 ;

郭垒 ;

刘浩洋 ;

庄鑫 .

中国专利 :CN119369244A ,2025-01-28

[7]

晶圆边缘抛光方法和抛光装置 [P].

王凯杰 ;

王科 ;

郭垒 ;

刘浩洋 ;

庄鑫 .

中国专利 :CN119897783B ,2025-11-21

[8]

晶圆边缘抛光机构及晶圆边缘抛光装置 [P].

潘雪明 ;

李鑫 ;

苏静洪 .

中国专利 :CN109848827B ,2024-04-30

[9]

晶圆边缘抛光机构及晶圆边缘抛光装置 [P].

潘雪明 ;

李鑫 ;

苏静洪 .

中国专利 :CN109848827A ,2019-06-07

[10]

晶圆边缘抛光机构及晶圆边缘抛光装置 [P].

潘雪明 ;

李鑫 ;

苏静洪 .

中国专利 :CN210281830U ,2020-04-10

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