用于清洗晶片的摇摆清洗装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010614359.X

申请日：

2010-12-30

公开(公告)号：

CN102059230B

公开(公告)日：

2011-05-18

发明(设计)人：

任先林陈俊

申请人：

申请人地址：

213034 江苏省常州市高新区百丈工业园创业东路11号

IPC主分类号：

B08B310

IPC分类号：

代理机构：

常州市维益专利事务所 32211

代理人：

何学成

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-05-18	公开	公开
2015-02-25	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101599918929 IPC(主分类):B08B 3/10 专利号:ZL201010614359X 申请日:20101230 授权公告日:20120808 终止日期:20131230
2012-08-08	授权	授权

共 50 条

[1]

用于清洗晶片的摇摆清洗装置 [P].

任先林 ;

陈俊 .

中国专利 :CN201913089U ,2011-08-03

[2]

一种用于晶片清洗的自动清洗机 [P].

陈天学 ;

吴云才 .

中国专利 :CN209829729U ,2019-12-24

[3]

晶片清洗装置及晶片清洗方法 [P].

申埈燮 ;

张月 ;

杨涛 ;

卢一泓 ;

刘青 .

中国专利 :CN114226294A ,2022-03-25

[4]

晶片的清洗装置 [P].

袁廷波 ;

胡晓洪 .

中国专利 :CN203526139U ,2014-04-09

[5]

摇摆清洗装置 [P].

何正纲 ;

缪锡飞 ;

何烨谦 .

中国专利 :CN120190175A ,2025-06-24

[6]

晶片清洗装置 [P].

河世根 .

中国专利 :CN111712909A ,2020-09-25

[7]

晶片清洗装置 [P].

刘火阳 ;

叶水景 ;

周铁军 ;

马金峰 ;

宋向荣 .

中国专利 :CN215031662U ,2021-12-07

[8]

晶片清洗装置 [P].

杜亮 ;

王伟 ;

肖志强 ;

黄子伦 .

中国专利 :CN201315314Y ,2009-09-23

[9]

晶片清洗装置及清洗方法 [P].

松永祐平 ;

冲田宪治 .

中国专利 :CN110911302A ,2020-03-24

[10]

晶片毛刷清洗装置及晶片毛刷清洗方法 [P].

邓武锋 .

中国专利 :CN102479669A ,2012-05-30

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