多栅器件的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110182408.1

申请日：

2011-06-30

公开(公告)号：

CN102856205B

公开(公告)日：

2013-01-02

发明(设计)人：

殷华湘徐秋霞陈大鹏

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-02	公开	公开
2014-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582556938 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2011101824081 申请日:20110630
2017-02-01	授权	授权

共 50 条

[1]

多栅器件的形成方法 [P].

殷华湘 ;

徐秋霞 ;

陈大鹏 .

中国专利 :CN102856181B ,2013-01-02

[2]

多栅器件的形成方法 [P].

三重野文健 .

中国专利 :CN103000505B ,2013-03-27

[3]

多栅器件的形成方法 [P].

三重野文健 .

中国专利 :CN103000527A ,2013-03-27

[4]

多栅器件及其形成方法 [P].

乔治奥斯·韦理安尼堤斯 ;

布兰丁·迪里耶 .

中国专利 :CN113394216A ,2021-09-14

[5]

多栅器件及其形成方法 [P].

乔治奥斯·韦理安尼堤斯 ;

布兰丁·迪里耶 .

中国专利 :CN113394216B ,2024-12-24

[6]

分立栅存储器件的形成方法 [P].

李勇 ;

刘艳 ;

周儒领 ;

黄淇生 .

中国专利 :CN102044497A ,2011-05-04

[7]

分立栅存储器件的形成方法 [P].

李凤莲 ;

洪中山 ;

何其旸 .

中国专利 :CN102263064A ,2011-11-30

[8]

分立栅存储器件的形成方法 [P].

李勇 ;

刘艳 ;

周儒领 ;

黄淇生 .

中国专利 :CN102044498A ,2011-05-04

[9]

环栅器件结构及其形成方法 [P].

张丽杰 .

中国专利 :CN120343973A ,2025-07-18

[10]

栅氧的形成方法 [P].

成鑫华 ;

尹俊 .

中国专利 :CN114068317A ,2022-02-18

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