用于重掺硅单晶制造的热系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120097024.5

申请日：

2011-04-06

公开(公告)号：

CN202039153U

公开(公告)日：

2011-11-16

发明(设计)人：

李建弘康冬辉李烨董兆清徐强张焕新王林许海波

申请人：

申请人地址：

300384 天津市南开区华苑产业园区（环外）海泰东路12号

IPC主分类号：

C30B1500

IPC分类号：

C30B1514 C30B2906

代理机构：

天津中环专利商标代理有限公司 12105

代理人：

莫琪

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-11-16	授权	授权
2021-03-19	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C30B 15/00 申请日:20110406 授权公告日:20111116 终止日期:20200406
2019-01-04	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C30B 15/00 登记生效日:20181218 变更事项:专利权人变更前权利人:天津市环欧半导体材料技术有限公司变更后权利人:天津中环领先材料技术有限公司变更事项:地址变更前权利人:300384 天津市南开区华苑产业园区（环外）海泰东路12号变更后权利人:300384 天津市滨海新区高新区华苑产业区（环外）海泰东路12号
2019-06-07	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C30B 15/00 登记生效日:20190517 变更事项:专利权人变更前权利人:天津中环领先材料技术有限公司变更后权利人:内蒙古中环领先半导体材料有限公司变更事项:地址变更前权利人:300384 天津市滨海新区高新区华苑产业区（环外）海泰东路12号变更后权利人:010000 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号

共 50 条

[1]

一种用于重掺硅单晶制造的热系统 [P].

康冬辉 ;

张雪囡 ;

李建弘 ;

徐强 ;

沈浩平 .

中国专利 :CN102168300A ,2011-08-31

[2]

一种用于8英寸重掺As硅单晶热场结构 [P].

张学强 ;

黄永恩 ;

范全东 ;

路鹏 .

中国专利 :CN203820915U ,2014-09-10

[3]

用于直拉硅单晶炉热场系统 [P].

殷国庆 ;

吴道庆 .

中国专利 :CN201512601U ,2010-06-23

[4]

一种拉制8英寸重掺砷硅单晶的热系统 [P].

陈澄 ;

王林 ;

朱鹏浩 ;

宋都明 ;

李亚哲 ;

刘一波 .

中国专利 :CN103103607B ,2013-05-15

[5]

一种硅单晶炉的热场系统 [P].

许大维 ;

徐伟 .

中国专利 :CN202116690U ,2012-01-18

[6]

用于重掺硅单晶的掺杂方法及掺杂装置 [P].

刘进 ;

徐慶晧 ;

马小龙 ;

曹启刚 ;

王黎光 ;

李巨晓 ;

刘彦鹏 ;

虎永慧 ;

蔡瑞 .

中国专利 :CN115323489A ,2022-11-11

[7]

直拉硅单晶热场 [P].

陈康 ;

马洋 ;

王军磊 ;

王建平 ;

谷守伟 ;

贾海洋 ;

王永青 ;

梁山 ;

郝勇 .

中国专利 :CN204251760U ,2015-04-08

[8]

新型单晶炉热场、拉制轻掺硅单晶棒的新型单晶炉热场 [P].

韩建超 ;

沈杨宇 .

中国专利 :CN202755095U ,2013-02-27

[9]

一种用于生产重掺硅单晶的防爆排气过滤装置 [P].

黄永恩 ;

张学强 ;

范全东 ;

路鹏 .

中国专利 :CN203820916U ,2014-09-10

[10]

直拉法生长掺镓硅单晶的装置 [P].

任丙彦 ;

任丽 .

中国专利 :CN201058893Y ,2008-05-14

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