用于重掺硅单晶的掺杂方法及掺杂装置

被引：0

申请号：

CN202211011811.2

申请日：

2022-08-23

公开(公告)号：

CN115323489A

公开(公告)日：

2022-11-11

发明(设计)人：

刘进徐慶晧马小龙曹启刚王黎光李巨晓刘彦鹏虎永慧蔡瑞

申请人：

申请人地址：

750000 宁夏回族自治区银川市经济技术开发区光明西路28号

IPC主分类号：

C30B2702

IPC分类号：

C30B2906

代理机构：

宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙) 64105

代理人：

杨畅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 27/02 申请日:20220823
2022-11-11	公开	公开

共 50 条

[1]

用于低电阻率重掺磷硅单晶的气相掺杂装置及掺杂方法 [P].

商润龙 ;

曹启刚 ;

王黎光 ;

马成 ;

芮阳 ;

赵娜 ;

李俊丽 ;

白园 .

中国专利 :CN120989733A ,2025-11-21

[2]

直拉硅单晶的掺杂装置及方法 [P].

刘进 ;

王忠保 ;

李巨晓 ;

芮阳 ;

魏兴彤 ;

马小龙 ;

虎永慧 .

中国专利 :CN113549994B ,2021-10-26

[3]

用于重掺半导体单晶硅的掺杂装置及掺杂方法 [P].

宽军 ;

芮阳 ;

伊冉 ;

王黎光 ;

曹启刚 ;

赵娜 ;

赵泽慧 ;

白园 .

中国专利 :CN117966252A ,2024-05-03

[4]

一种用于重掺直拉单晶的掺杂装置 [P].

李超 ;

崔彬 ;

方峰 ;

王学锋 ;

郑沉 ;

邓德辉 .

中国专利 :CN111364098A ,2020-07-03

[5]

重掺砷硅单晶收尾方法及装置 [P].

闫龙 ;

张兴茂 ;

周文辉 ;

李小红 ;

伊冉 ;

王忠保 .

中国专利 :CN113564691A ,2021-10-29

[6]

用于重掺硅单晶制造的热系统 [P].

李建弘 ;

康冬辉 ;

李烨 ;

董兆清 ;

徐强 ;

张焕新 ;

王林 ;

许海波 .

中国专利 :CN202039153U ,2011-11-16

[7]

拉制重掺磷硅单晶后的排气方法 [P].

伊冉 ;

曹启刚 ;

芮阳 ;

杨凯 ;

王黎光 ;

蔡瑞 ;

魏兴彤 ;

马佳乐 .

中国专利 :CN119956471A ,2025-05-09

[8]

一种气相重掺掺杂装置 [P].

沈伟民 ;

毛志飞 .

中国专利 :CN223033509U ,2025-06-27

[9]

一种气相重掺掺杂装置 [P].

沈伟民 ;

毛志飞 .

中国专利 :CN223047640U ,2025-07-01

[10]

增设导气管的掺杂剂掺杂装置及单晶炉 [P].

周文辉 ;

伊冉 .

中国专利 :CN213596456U ,2021-07-02

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