增设导气管的掺杂剂掺杂装置及单晶炉

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202022565390.0
申请日
2020-11-09
公开(公告)号
CN213596456U
公开(公告)日
2021-07-02
发明(设计)人
周文辉 伊冉
申请人
申请人地址
750021 宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路28号
IPC主分类号
C30B1504
IPC分类号
C30B2906
代理机构
宁夏合天律师事务所 64103
代理人
张淼
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
简统化配置的掺杂剂掺杂装置及单晶炉 [P]. 
周文辉 .
中国专利 :CN213596457U ,2021-07-02
[2]
掺杂剂掺杂装置 [P]. 
芮阳 .
中国专利 :CN208844224U ,2019-05-10
[3]
一种单晶炉掺杂剂加料工装 [P]. 
余孟 ;
杨李阳 ;
兰志勇 ;
樊同帅 .
中国专利 :CN223329422U ,2025-09-12
[4]
掺杂装置、单晶炉和掺杂方法 [P]. 
党彦宝 ;
邹凯 ;
田栋东 ;
李长营 ;
莫磊 ;
张德林 .
中国专利 :CN118374870A ,2024-07-23
[5]
单晶炉掺杂装置 [P]. 
张兴茂 .
中国专利 :CN212077194U ,2020-12-04
[6]
单晶炉掺杂装置及单晶炉 [P]. 
董文涛 ;
乔乐 ;
付明全 .
中国专利 :CN223329423U ,2025-09-12
[7]
单晶炉掺杂装置及单晶炉 [P]. 
董文涛 ;
乔乐 ;
付明全 .
中国专利 :CN223329424U ,2025-09-12
[8]
制备砷掺杂剂的方法、应用氧化砷掺杂生长单晶硅的方法和单晶炉以及砷掺杂单晶硅 [P]. 
黄末 .
中国专利 :CN109628993A ,2019-04-16
[9]
单晶炉掺杂装置和单晶炉 [P]. 
孙文明 ;
陈林军 ;
武晓峰 .
中国专利 :CN118600528A ,2024-09-06
[10]
氮掺杂剂加料装置、方法及氮掺杂单晶硅棒的制造系统 [P]. 
徐鹏 ;
衡鹏 ;
李阳 .
中国专利 :CN113882015A ,2022-01-04