硅单晶棒的快速冷却方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510865621.0

申请日：

2015-12-02

公开(公告)号：

CN105568366A

公开(公告)日：

2016-05-11

发明(设计)人：

张俊宝宋洪伟

申请人：

申请人地址：

201604 上海市松江区石湖荡镇养石路88号

IPC主分类号：

C30B1500

IPC分类号：

C30B2906

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-11	公开	公开
2021-10-01	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C30B 15/00 变更事项:专利权人变更前:上海超硅半导体有限公司变更后:上海超硅半导体股份有限公司变更事项:地址变更前:201604 上海市松江区石湖荡镇养石路88号变更后:201604 上海市松江区石湖荡镇养石路88号
2017-07-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101732558227 IPC(主分类):C30B 15/00 专利申请号:2015108656210 申请日:20151202
2019-04-02	授权	授权

共 50 条

[1]

硅单晶棒运输冷却车装置 [P].

刘天贵 ;

马青 ;

李春雷 ;

高熙礼 .

中国专利 :CN201485532U ,2010-05-26

[2]

硅单晶棒回收装置 [P].

尚青生 .

中国专利 :CN205650303U ,2016-10-19

[3]

硅单晶的拉制方法 [P].

M·贝尔 .

中国专利 :CN101922041B ,2010-12-22

[4]

硅单晶及硅单晶直拉方法 [P].

廖才超 ;

白枭龙 ;

熊波 ;

苏锦锋 ;

康玉虎 ;

闫凯华 .

中国专利 :CN120350427A ,2025-07-22

[5]

硅单晶生长炉 [P].

蔡光进 ;

韩喆 ;

李国迪 ;

蒋明霞 .

中国专利 :CN201981289U ,2011-09-21

[6]

硅单晶的生长方法 [P].

赵铉鼎 .

中国专利 :CN101831696B ,2010-09-15

[7]

硅单晶的生长方法 [P].

赵铉鼎 .

中国专利 :CN101831697B ,2010-09-15

[8]

重掺硼硅单晶棒的拉制方法 [P].

沈杨宇 ;

韩建超 ;

陈建纲 ;

刘苏生 .

中国专利 :CN104746138A ,2015-07-01

[9]

单晶炉重锤、单晶炉、硅单晶的直拉方法及硅单晶 [P].

尚繁 ;

周浩 ;

郭凯 .

中国专利 :CN103590098B ,2014-02-19

[10]

硅单晶制造方法、硅单晶和晶片 [P].

中居克彦 ;

大久保正道 .

中国专利 :CN103282555A ,2013-09-04

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