硅单晶的生长方法

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专利类型
发明
申请号
CN201010166765.4
申请日
2005-11-23
公开(公告)号
CN101831696B
公开(公告)日
2010-09-15
发明(设计)人
赵铉鼎
申请人
申请人地址
韩国庆尚北道
IPC主分类号
C30B2906
IPC分类号
C30B1520
代理机构
北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290
代理人
禇海英;武玉琴
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
硅单晶的生长方法 [P]. 
赵铉鼎 .
中国专利 :CN101831697B ,2010-09-15
[2]
硅单晶生长装置及使用该装置的硅单晶生长方法 [P]. 
金度延 ;
崔日洙 ;
安润河 .
中国专利 :CN106574392A ,2017-04-19
[3]
硅单晶生长方法以及设备 [P]. 
姜钟珉 ;
崔日洙 .
中国专利 :CN111615568B ,2020-09-01
[4]
一种硅单晶的生长方法 [P]. 
王刚 ;
沈伟民 ;
黄瀚艺 ;
陈伟德 .
中国专利 :CN110629283A ,2019-12-31
[5]
一种硅单晶的生长方法 [P]. 
高欣 ;
周磊峰 ;
张新峰 .
中国专利 :CN118497882A ,2024-08-16
[6]
碳化硅单晶的生长方法 [P]. 
刘东峰 ;
郑向光 ;
田越 ;
杨昆 ;
刘新辉 ;
路亚娟 ;
牛晓龙 ;
陈飒 ;
刘谦 ;
闫猛 ;
李扬 .
中国专利 :CN118064966A ,2024-05-24
[7]
硅单晶的生长方法、生长装置及由其制造的硅片 [P]. 
赵铉鼎 .
中国专利 :CN1782143A ,2006-06-07
[8]
碳化硅单晶生长装置及碳化硅单晶生长方法 [P]. 
王海涛 ;
乔帅帅 .
中国专利 :CN120384329A ,2025-07-29
[9]
硅单晶的生长装置 [P]. 
赵铉鼎 .
中国专利 :CN101831695B ,2010-09-15
[10]
碳化硅单晶生长方法及裂纹闭合生长方法 [P]. 
王明华 ;
朱鑫煌 ;
蒋琳 ;
张振远 .
中国专利 :CN114262936A ,2022-04-01