硬掩模用组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710220902.X

申请日：

2017-04-06

公开(公告)号：

CN107340687B

公开(公告)日：

2017-11-10

发明(设计)人：

崔汉永梁敦植金相泰成始震

申请人：

申请人地址：

韩国全罗北道

IPC主分类号：

G03F711

IPC分类号：

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

钟晶;钟海胜

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-25	授权	授权
2017-11-10	公开	公开
2019-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/11 申请日:20170406

共 50 条

[1]

硬掩模用组合物 [P].

梁敦植 ;

崔汉永 .

中国专利 :CN108663905A ,2018-10-16

[2]

硬掩模用组合物 [P].

崔汉永 ;

梁敦植 .

中国专利 :CN107526252B ,2017-12-29

[3]

硬掩模用组合物 [P].

梁敦植 ;

梁振锡 ;

朴根永 ;

崔汉永 .

中国专利 :CN108089405A ,2018-05-29

[4]

硬掩模用组合物 [P].

崔汉永 ;

梁敦植 ;

金相泰 ;

成始震 .

中国专利 :CN107340688B ,2017-11-10

[5]

硬掩模用组合物 [P].

梁敦植 ;

梁振锡 ;

崔汉永 .

中国专利 :CN108227385A ,2018-06-29

[6]

硬掩模用组合物 [P].

梁敦植 ;

梁振锡 ;

朴根永 ;

崔汉永 .

中国专利 :CN108089406A ,2018-05-29

[7]

硬掩模组合物、硬掩模层以及形成图案的方法 [P].

郑主泳 ;

南沇希 ;

郑瑟基 .

韩国专利 :CN118672059A ,2024-09-20

[8]

硬掩模组合物、硬掩模层以及形成图案的方法 [P].

林栽范 ;

金瑆焕 ;

金昇炫 ;

金兑镐 ;

朴裕信 ;

梁善暎 .

中国专利 :CN111352300A ,2020-06-30

[9]

硬掩模组合物、硬掩模层以及形成图案的方法 [P].

崔世一 .

韩国专利 :CN118915385A ,2024-11-08

[10]

硬掩模组合物、硬掩模层以及形成图案的方法 [P].

金瑆焕 .

韩国专利 :CN118818902A ,2024-10-22

← 1 2 3 4 5 →