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镀膜机(原子层沉积)
被引:0
申请号
:
CN202230522767.6
申请日
:
2022-08-11
公开(公告)号
:
CN307706754S
公开(公告)日
:
2022-12-02
发明(设计)人
:
不公告设计人
申请人
:
申请人地址
:
518000 广东省深圳市宝安区新安街道兴东社区群辉路1号优创空间1号楼102
IPC主分类号
:
1599
IPC分类号
:
代理机构
:
深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314
代理人
:
焦绅桀
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2022-12-02
授权
授权
共 50 条
[1]
原子层沉积镀膜机
[P].
陈文翰
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陈文翰
;
乌磊
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乌磊
;
李哲峰
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李哲峰
.
中国专利
:CN307203918S
,2022-03-25
[2]
原子层沉积镀膜机
[P].
陈文翰
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陈文翰
;
乌磊
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乌磊
;
李哲峰
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李哲峰
.
中国专利
:CN307136243S
,2022-03-01
[3]
原子层沉积镀膜机
[P].
陈文翰
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陈文翰
;
乌磊
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乌磊
;
李哲峰
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李哲峰
.
中国专利
:CN307136242S
,2022-03-01
[4]
一种原子层沉积镀膜机的真空控制系统
[P].
柳存定
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柳存定
;
黎明
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黎明
;
杨伟
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杨伟
.
中国专利
:CN112430805B
,2021-03-02
[5]
原子层沉积镀膜方法
[P].
陈桉苡
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机构:
安徽越好电子装备有限公司
安徽越好电子装备有限公司
陈桉苡
;
刘安徽
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安徽越好电子装备有限公司
安徽越好电子装备有限公司
刘安徽
;
黄俊凯
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安徽越好电子装备有限公司
安徽越好电子装备有限公司
黄俊凯
;
叶昌鑫
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安徽越好电子装备有限公司
安徽越好电子装备有限公司
叶昌鑫
;
郑博鸿
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机构:
安徽越好电子装备有限公司
安徽越好电子装备有限公司
郑博鸿
.
中国专利
:CN118685760A
,2024-09-24
[6]
原子层沉积镀膜系统
[P].
陈桉苡
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机构:
安徽越好电子装备有限公司
安徽越好电子装备有限公司
陈桉苡
;
刘安徽
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机构:
安徽越好电子装备有限公司
安徽越好电子装备有限公司
刘安徽
;
黄俊凯
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安徽越好电子装备有限公司
安徽越好电子装备有限公司
黄俊凯
;
叶昌鑫
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安徽越好电子装备有限公司
安徽越好电子装备有限公司
叶昌鑫
;
沈纬徵
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安徽越好电子装备有限公司
安徽越好电子装备有限公司
沈纬徵
;
郑博鸿
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机构:
安徽越好电子装备有限公司
安徽越好电子装备有限公司
郑博鸿
.
中国专利
:CN118835217A
,2024-10-25
[7]
原子层沉积镀膜设备
[P].
陈文翰
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陈文翰
;
李哲峰
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李哲峰
.
中国专利
:CN216404533U
,2022-04-29
[8]
原子层沉积镀膜设备
[P].
陈文翰
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陈文翰
;
乌磊
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乌磊
;
李哲峰
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李哲峰
.
中国专利
:CN216404534U
,2022-04-29
[9]
原子层沉积镀膜设备
[P].
莫姗
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机构:
光驰半导体技术(上海)有限公司
光驰半导体技术(上海)有限公司
莫姗
;
秦志勇
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机构:
光驰半导体技术(上海)有限公司
光驰半导体技术(上海)有限公司
秦志勇
;
杨启忠
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机构:
光驰半导体技术(上海)有限公司
光驰半导体技术(上海)有限公司
杨启忠
.
中国专利
:CN223373223U
,2025-09-23
[10]
原子层沉积机(PEALD)
[P].
祁文杰
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机构:
拉普拉斯(西安)科技有限责任公司
拉普拉斯(西安)科技有限责任公司
祁文杰
;
卢秋霞
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机构:
拉普拉斯(西安)科技有限责任公司
拉普拉斯(西安)科技有限责任公司
卢秋霞
;
刘群
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机构:
拉普拉斯(西安)科技有限责任公司
拉普拉斯(西安)科技有限责任公司
刘群
.
中国专利
:CN308823371S
,2024-09-06
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