在光纤传感器端面沉积金属膜层的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710041504.8

申请日：

2007-05-31

公开(公告)号：

CN101063624A

公开(公告)日：

2007-10-31

发明(设计)人：

蔡文斌霍胜娟王金意

申请人：

申请人地址：

200433上海市邯郸路220号

IPC主分类号：

G01D526

IPC分类号：

G01D5353

代理机构：

上海正旦专利代理有限公司

代理人：

陆飞;盛志范

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-01-09	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-08-04	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101003709734 IPC(主分类):G01D 5/26 专利申请号:2007100415048 公开日:20071031
2007-10-31	公开	公开

共 50 条

[1]

一种金属膜层沉积方法和金属膜层沉积设备 [P].

何中凯 ;

荣延栋 ;

刘菲菲 ;

夏威 ;

丁培军 .

中国专利 :CN109207942A ,2019-01-15

[2]

一种金属膜层的沉积方法 [P].

陈峰 ;

王晓兵 .

中国专利 :CN115449870A ,2022-12-09

[3]

一种基于金属镀膜的光纤悬臂梁温度传感器 [P].

刘月明 ;

徐程 ;

姜辉 .

中国专利 :CN108195486A ,2018-06-22

[4]

金属膜层的沉积方法及半导体器件 [P].

孙建 ;

方龑 ;

顾浩 .

中国专利 :CN121046782A ,2025-12-02

[5]

金属膜的沉积 [P].

尹炳勋 ;

雷伟 ;

柳尚澔 .

中国专利 :CN115003854A ,2022-09-02

[6]

金属膜的沉积 [P].

约瑟亚·科林斯 ;

格里芬·约翰·肯尼迪 ;

汉娜·班诺克尔 ;

帕特里克·范克利蒙布特 ;

塞沙萨耶·瓦拉达拉简 .

中国专利 :CN113366144A ,2021-09-07

[7]

金属膜的沉积 [P].

尹炳勋 ;

雷伟 ;

柳尚澔 .

美国专利 :CN115003854B ,2024-07-23

[8]

金属膜的沉积 [P].

阿夫耶里诺斯·V·杰拉托斯 ;

仓富敬 ;

海克·林 ;

伊诚·陈 ;

张镁 .

中国专利 :CN110024079A ,2019-07-16

[9]

监测金属腐蚀的沉积膜光纤传感器及其制备方法 [P].

董飒英 .

中国专利 :CN1598551A ,2005-03-23

[10]

金属膜层的返工方法 [P].

徐衡 .

中国专利 :CN117727616A ,2024-03-19

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