一种制备高纯多晶硅的还原设备

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专利类型
实用新型
申请号
CN200820153749.X
申请日
2008-10-07
公开(公告)号
CN201381229Y
公开(公告)日
2010-01-13
发明(设计)人
柳翠 敖毅伟
申请人
申请人地址
201108上海市闵行区莘庄工业区申南路555号
IPC主分类号
C01B33027
IPC分类号
代理机构
上海航天局专利中心
代理人
金家山
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
用于制备高纯多晶硅的装置 [P]. 
柳翠 ;
敖毅伟 .
中国专利 :CN201220975Y ,2009-04-15
[2]
高纯多晶硅生产用还原炉电极 [P]. 
周积卫 ;
茅陆荣 ;
吴海龙 ;
程佳彪 .
中国专利 :CN203498097U ,2014-03-26
[3]
锌还原法制备高纯多晶硅的装置 [P]. 
李红波 ;
张滢清 ;
张愿成 ;
张玉霞 ;
贺珍俊 .
中国专利 :CN201901598U ,2011-07-20
[4]
一种高纯多晶硅制备装置 [P]. 
袁磊 ;
张晓东 ;
杨晓明 .
中国专利 :CN203159237U ,2013-08-28
[5]
用于制备高纯多晶硅的装置 [P]. 
柳翠 ;
敖毅伟 .
中国专利 :CN101597061A ,2009-12-09
[6]
一种电子级高纯多晶硅还原启动设备和启动方法 [P]. 
王清华 .
中国专利 :CN110078079A ,2019-08-02
[7]
锌还原法制备高纯多晶硅的装置 [P]. 
李红波 ;
张滢清 ;
张愿成 ;
张玉霞 ;
贺珍俊 .
中国专利 :CN102557036A ,2012-07-11
[8]
多晶硅还原炉的底盘和多晶硅还原炉 [P]. 
韩锋 ;
田新 ;
史言回 ;
孟锦 ;
桑九龙 ;
张思楠 ;
卢文 .
中国专利 :CN216737605U ,2022-06-14
[9]
一种多晶硅还原炉底盘以及多晶硅还原炉 [P]. 
王文 ;
银波 ;
刘兴平 ;
范协诚 ;
冯留建 ;
何隆 ;
穆凯代斯·太外库力 .
中国专利 :CN220999257U ,2024-05-24
[10]
一种多晶硅的生产还原方法及多晶硅 [P]. 
马英中 ;
李峰 ;
王盼盼 ;
吕雄强 ;
董德智 ;
陈彦玺 ;
张彦辉 ;
路小卫 ;
马强龙 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN115771896B ,2024-06-18