一种电子束熔炼多晶硅粉体的装置及方法

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专利类型
发明
申请号
CN201410691629.5
申请日
2014-11-25
公开(公告)号
CN104402000B
公开(公告)日
2015-03-11
发明(设计)人
谭毅 姜大川 石爽 王登科
申请人
申请人地址
116024 辽宁省大连市高新园区凌工路2号
IPC主分类号
C01B33037
IPC分类号
代理机构
大连东方专利代理有限责任公司 21212
代理人
李娜;李馨
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种电子束熔炼多晶硅粉体横向拉锭的装置及方法 [P]. 
姜大川 ;
石爽 ;
王登科 ;
谭毅 .
中国专利 :CN104528729B ,2015-04-22
[2]
一种电子束熔炼多晶硅粉体与定向凝固结合的装置及方法 [P]. 
姜大川 ;
王登科 ;
石爽 ;
谭毅 .
中国专利 :CN104445903B ,2015-03-25
[3]
一种电子束高效提纯多晶硅粉体的方法及设备 [P]. 
谭毅 ;
姜大川 ;
战丽姝 .
中国专利 :CN102126726A ,2011-07-20
[4]
一种多晶硅提纯用电子束熔炼高效装置 [P]. 
刘应宽 ;
盛之林 ;
刘振远 ;
郑杰 ;
尹中荣 ;
蒋宁雄 ;
刘永贵 .
中国专利 :CN202175565U ,2012-03-28
[5]
一种多晶硅提纯用电子束熔炼高效装置 [P]. 
刘应宽 ;
盛之林 ;
刘振远 ;
郑杰 ;
尹中荣 ;
蒋宁雄 ;
刘永贵 .
中国专利 :CN102259866A ,2011-11-30
[6]
一种电子束高效提纯多晶硅粉体的设备 [P]. 
谭毅 ;
战丽姝 ;
姜大川 .
中国专利 :CN201981012U ,2011-09-21
[7]
一种降低电子束熔炼多晶硅能耗的装置与方法 [P]. 
姜大川 ;
王登科 ;
石爽 ;
李鹏廷 ;
谭毅 .
中国专利 :CN104528734A ,2015-04-22
[8]
一种提高电子束熔炼多晶硅效率的方法及装置 [P]. 
唐子凡 ;
张磊 ;
庞大宇 ;
肖承祥 ;
张思源 .
中国专利 :CN109133067A ,2019-01-04
[9]
一种电子束梯度熔炼提纯多晶硅的方法 [P]. 
谭毅 ;
邹瑞洵 ;
顾正 ;
董伟 ;
姜大川 .
中国专利 :CN101905886A ,2010-12-08
[10]
一种提高电子束熔炼多晶硅效率的装置 [P]. 
唐子凡 ;
张磊 ;
庞大宇 ;
肖承祥 ;
张思源 .
中国专利 :CN209161503U ,2019-07-26