包含α-Ta层的扩散阻挡层的制备方法以及复合扩散阻挡层

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811142728.2

申请日：

2018-09-28

公开(公告)号：

CN110970349A

公开(公告)日：

2020-04-07

发明(设计)人：

任兴润王婷汪雷刘洋何丹丹

申请人：

申请人地址：

230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23538

代理机构：

北京律智知识产权代理有限公司 11438

代理人：

王莹;于宝庆

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-07	公开	公开
2020-05-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20180928

共 50 条

[1]

包含α-Ta层的扩散阻挡层的制备方法以及复合扩散阻挡层 [P].

任兴润 ;

刘洋 ;

何丹丹 ;

汪雷 ;

王婷 .

中国专利 :CN110970350A ,2020-04-07

[2]

扩散阻挡层和扩散阻挡层的制造方法 [P].

M·哈拉兹奥尔松 ;

H·特兰夸克 ;

A·加利相 .

中国专利 :CN1977404A ,2007-06-06

[3]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格伦兰 ;

M·A·普廖洛 ;

P·温斯顿 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN110053423A ,2019-07-26

[4]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格兰朗 ;

P·温斯顿 ;

B·E·史蒂文斯 .

中国专利 :CN107206421A ,2017-09-26

[5]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格伦兰 ;

M·A·普廖洛 ;

P·温斯顿 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN104870107A ,2015-08-26

[6]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格兰朗 ;

M·A·普寥洛 ;

B·R·贝格曼 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN104114286A ,2014-10-22

[7]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格兰朗 ;

M·A·普寥洛 ;

B·R·贝格曼 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN107101587A ,2017-08-29

[8]

合金扩散阻挡层 [P].

N·戴德文德 ;

S·F·帕沃内 ;

C·D·马纳克 .

中国专利 :CN111052362A ,2020-04-21

[9]

铜扩散阻挡层的制备方法 [P].

朱德龙 .

中国专利 :CN110957264A ,2020-04-03

[10]

制作扩散阻挡层的方法 [P].

徐强 .

中国专利 :CN102110639A ,2011-06-29

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