制作扩散阻挡层的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910200988.5

申请日：

2009-12-23

公开(公告)号：

CN102110639A

公开(公告)日：

2011-06-29

发明(设计)人：

徐强

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

C23C1644

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司 11018

代理人：

牛峥;王丽琴

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-12-19	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101487806121 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2009102009885 变更事项:申请人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更事项:申请人变更前权利人:无变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司登记生效日:20121119
2011-08-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101096117587 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2009102009885 申请日:20091223
2011-06-29	公开	公开
2020-12-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20091223 授权公告日:20131204 终止日期:20191223
2013-12-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种SiCN扩散阻挡层的制备方法 [P].

陈润泽 ;

郑艺 ;

胡阳 ;

田金金 ;

滕鑫胜 ;

旷军 ;

崔崇 ;

杨志强 .

中国专利 :CN119640238A ,2025-03-18

[2]

一种SiCN扩散阻挡层制备工艺 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN102403220A ,2012-04-04

[3]

扩散阻挡层和扩散阻挡层的制造方法 [P].

M·哈拉兹奥尔松 ;

H·特兰夸克 ;

A·加利相 .

中国专利 :CN1977404A ,2007-06-06

[4]

包含α-Ta层的扩散阻挡层的制备方法以及复合扩散阻挡层 [P].

任兴润 ;

刘洋 ;

何丹丹 ;

汪雷 ;

王婷 .

中国专利 :CN110970350A ,2020-04-07

[5]

包含α-Ta层的扩散阻挡层的制备方法以及复合扩散阻挡层 [P].

任兴润 ;

王婷 ;

汪雷 ;

刘洋 ;

何丹丹 .

中国专利 :CN110970349A ,2020-04-07

[6]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格伦兰 ;

M·A·普廖洛 ;

P·温斯顿 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN110053423A ,2019-07-26

[7]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格兰朗 ;

P·温斯顿 ;

B·E·史蒂文斯 .

中国专利 :CN107206421A ,2017-09-26

[8]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格伦兰 ;

M·A·普廖洛 ;

P·温斯顿 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN104870107A ,2015-08-26

[9]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格兰朗 ;

M·A·普寥洛 ;

B·R·贝格曼 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN104114286A ,2014-10-22

[10]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格兰朗 ;

M·A·普寥洛 ;

B·R·贝格曼 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN107101587A ,2017-08-29

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