一种SiCN扩散阻挡层的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411617047.2

申请日：

2024-11-13

公开(公告)号：

CN119640238A

公开(公告)日：

2025-03-18

发明(设计)人：

陈润泽郑艺胡阳田金金滕鑫胜旷军崔崇杨志强

申请人：

中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司

申请人地址：

057550 河北省邯郸市肥乡区化工工业聚集区纬五路1号（经营场所:纬五路1号、世纪大街6号）

IPC主分类号：

C23C16/50

IPC分类号：

C23C16/36 H01L21/768

代理机构：

石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100

代理人：

张素静

法律状态：

公开

国省代码：

河北省邯郸市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-18	公开	公开
2025-04-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/50申请日:20241113

共 50 条

[1]

一种SiCN扩散阻挡层制备工艺 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN102403220A ,2012-04-04

[2]

制作扩散阻挡层的方法 [P].

徐强 .

中国专利 :CN102110639A ,2011-06-29

[3]

扩散阻挡层和扩散阻挡层的制造方法 [P].

M·哈拉兹奥尔松 ;

H·特兰夸克 ;

A·加利相 .

中国专利 :CN1977404A ,2007-06-06

[4]

包含α-Ta层的扩散阻挡层的制备方法以及复合扩散阻挡层 [P].

任兴润 ;

刘洋 ;

何丹丹 ;

汪雷 ;

王婷 .

中国专利 :CN110970350A ,2020-04-07

[5]

包含α-Ta层的扩散阻挡层的制备方法以及复合扩散阻挡层 [P].

任兴润 ;

王婷 ;

汪雷 ;

刘洋 ;

何丹丹 .

中国专利 :CN110970349A ,2020-04-07

[6]

铜扩散阻挡层的制备方法 [P].

朱德龙 .

中国专利 :CN110957264A ,2020-04-03

[7]

一种扩散阻挡层及其制备方法 [P].

王文东 ;

夏洋 ;

李超波 ;

李勇滔 ;

刘邦武 ;

刘训春 .

中国专利 :CN102623434B ,2012-08-01

[8]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格伦兰 ;

M·A·普廖洛 ;

P·温斯顿 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN110053423A ,2019-07-26

[9]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格兰朗 ;

P·温斯顿 ;

B·E·史蒂文斯 .

中国专利 :CN107206421A ,2017-09-26

[10]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格伦兰 ;

M·A·普廖洛 ;

P·温斯顿 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN104870107A ,2015-08-26

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