一种高效硅片烘干装置

被引：0

申请号：

CN202123273590.X

申请日：

2021-12-23

公开(公告)号：

CN216644833U

公开(公告)日：

2022-05-31

发明(设计)人：

陆先锋

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市锡山区鹅湖镇甘西路888号德邻工业园B3-1厂房

IPC主分类号：

F26B1118

IPC分类号：

F26B2100 F26B2502 F26B2504 F26B2500

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-31	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片烘干装置 [P].

高如山 .

中国专利 :CN215373422U ,2021-12-31

[2]

一种硅片烘干装置 [P].

陈龙 .

中国专利 :CN214065481U ,2021-08-27

[3]

一种节能高效的单晶硅片烘干装置 [P].

刘科 .

中国专利 :CN209840557U ,2019-12-24

[4]

一种硅片用烘干装置 [P].

张国昌 ;

徐会武 ;

王凤涛 ;

牛子龙 ;

冯聪聪 .

中国专利 :CN223192022U ,2025-08-05

[5]

一种硅片涂胶烘干装置 [P].

张宽宽 ;

胡根生 ;

赵生龙 ;

张广东 .

中国专利 :CN223083196U ,2025-07-11

[6]

一种家具高效烘干装置 [P].

骆艺丹 .

中国专利 :CN218120392U ,2022-12-23

[7]

一种海参高效烘干装置 [P].

范作秒 ;

于义辉 .

中国专利 :CN216977355U ,2022-07-15

[8]

一种陶粒高效烘干装置 [P].

易举然 .

中国专利 :CN222393306U ,2025-01-24

[9]

一种单晶硅片烘干装置 [P].

光善如 .

中国专利 :CN218155333U ,2022-12-27

[10]

一种单晶硅片烘干装置 [P].

陈子轩 ;

孔繁政 ;

陈亚男 .

中国专利 :CN218380329U ,2023-01-24

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