一种硅片用烘干装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422441476.0

申请日：

2024-10-10

公开(公告)号：

CN223192022U

公开(公告)日：

2025-08-05

发明(设计)人：

张国昌徐会武王凤涛牛子龙冯聪聪

申请人：

石家庄钨铱电子科技有限公司

申请人地址：

050200 河北省石家庄市鹿泉区柏通路1号冀商硅谷工业园15号楼3单元1层

IPC主分类号：

F26B11/18

IPC分类号：

F26B5/08 F26B25/18

代理机构：

河北国维致远知识产权代理有限公司 13137

代理人：

郭彬

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种太阳能硅片清洗用烘干装置 [P].

吕健 ;

彭珍 ;

蒋祖鹏 ;

张小龙 ;

李志伟 ;

丁力 .

中国专利 :CN221172799U ,2024-06-18

[2]

一种硅片烘干装置 [P].

陈龙 .

中国专利 :CN214065481U ,2021-08-27

[3]

一种硅片烘干装置 [P].

高如山 .

中国专利 :CN215373422U ,2021-12-31

[4]

一种硅片制造用制绒烘干装置 [P].

仇慧生 ;

朱德成 ;

芮瞻飞 .

中国专利 :CN212870483U ,2021-04-02

[5]

一种硅片涂胶烘干装置 [P].

张宽宽 ;

胡根生 ;

赵生龙 ;

张广东 .

中国专利 :CN223083196U ,2025-07-11

[6]

一种高效硅片烘干装置 [P].

陆先锋 .

中国专利 :CN216644833U ,2022-05-31

[7]

一种陶瓷生产用烘干装置 [P].

陈建评 .

中国专利 :CN213617407U ,2021-07-06

[8]

一种单晶硅片烘干装置 [P].

光善如 .

中国专利 :CN218155333U ,2022-12-27

[9]

一种单晶硅片烘干装置 [P].

陈子轩 ;

孔繁政 ;

陈亚男 .

中国专利 :CN218380329U ,2023-01-24

[10]

一种单晶硅片烘干装置 [P].

何其金 ;

方艺霖 ;

何飞 ;

张靖 ;

徐小萍 .

中国专利 :CN221005842U ,2024-05-24

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