共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种硅片涂胶烘干装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202420973784.5
申请日：
2024-05-08
公开(公告)号：
CN223083196U
公开(公告)日：
2025-07-11
发明(设计)人：
张宽宽
胡根生
赵生龙
张广东
申请人：
上海容道社半导体科技有限公司
申请人地址：
200438 上海市杨浦区国和路465号（集中登记地）
IPC主分类号：
B05D3/04
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-07-11 | 授权 | 授权 |