基板移载装置以及基板移载方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280071697.0

申请日：

2012-06-01

公开(公告)号：

CN104321857A

公开(公告)日：

2015-01-28

发明(设计)人：

今井大辅武田直也

申请人：

申请人地址：

日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

C23C1646 H01L3104

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019

代理人：

寿宁;张华辉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-01-28	公开	公开
2015-02-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101599914946 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2012800716970 申请日:20120601
2017-03-29	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101749145532 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2012800716970 申请公布日:20150128

共 50 条

[1]

基板移载系统及基板移载方法 [P].

东正久 ;

铃木正康 ;

今井大辅 ;

武田直也 .

中国专利 :CN103858220B ,2014-06-11

[2]

基板移载装置、基板处理装置、基板移载用臂、基板移载方法 [P].

田村明威 .

中国专利 :CN101361177B ,2009-02-04

[3]

基板移载装置和基板移载方法 [P].

阿部洋 ;

小原美鹤 ;

阿部任弘 .

中国专利 :CN101271857B ,2008-09-24

[4]

基板移载手臂及基板移载装置 [P].

范光建 .

中国专利 :CN120453218A ,2025-08-08

[5]

基板移载装置 [P].

庄政道 ;

邓建松 ;

杨弘文 .

中国专利 :CN100591596C ,2005-07-20

[6]

基板移载装置 [P].

夏良烘 ;

徐向阳 ;

陈杰 .

中国专利 :CN105600447B ,2016-05-25

[7]

基板移载装置 [P].

庄政道 ;

邓建松 ;

杨弘文 .

中国专利 :CN1594048A ,2005-03-16

[8]

基板移载装置 [P].

后藤博彦 ;

曾铭 ;

艾薇许·巴瓦尼 ;

小野茂树 .

中国专利 :CN107924862A ,2018-04-17

[9]

薄层基板制造方法、薄层基板移载装置以及薄层基板移载用吸附垫 [P].

田中秀树 ;

安宾桢 ;

萧厚彦 .

中国专利 :CN1495887A ,2004-05-12

[10]

玻璃基板移载装置 [P].

李义隆 .

中国专利 :CN103159402B ,2013-06-19

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