基板移载装置、基板处理装置、基板移载用臂、基板移载方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200780001655.9

申请日：

2007-07-23

公开(公告)号：

CN101361177B

公开(公告)日：

2009-02-04

发明(设计)人：

田村明威

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

B65G4907

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-04-01	实质审查的生效	实质审查的生效
2016-09-07	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101678540105 IPC(主分类):H01L 21/677 专利号:ZL2007800016559 申请日:20070723 授权公告日:20110406 终止日期:20150723
2009-02-04	公开	公开
2011-04-06	授权	授权

共 50 条

[1]

基板移载装置和基板移载方法 [P].

阿部洋 ;

小原美鹤 ;

阿部任弘 .

中国专利 :CN101271857B ,2008-09-24

[2]

基板移载装置以及基板移载方法 [P].

今井大辅 ;

武田直也 .

中国专利 :CN104321857A ,2015-01-28

[3]

基板移载手臂及基板移载装置 [P].

范光建 .

中国专利 :CN120453218A ,2025-08-08

[4]

基板移载装置 [P].

庄政道 ;

邓建松 ;

杨弘文 .

中国专利 :CN100591596C ,2005-07-20

[5]

基板移载装置 [P].

夏良烘 ;

徐向阳 ;

陈杰 .

中国专利 :CN105600447B ,2016-05-25

[6]

基板移载装置 [P].

庄政道 ;

邓建松 ;

杨弘文 .

中国专利 :CN1594048A ,2005-03-16

[7]

基板移载装置 [P].

后藤博彦 ;

曾铭 ;

艾薇许·巴瓦尼 ;

小野茂树 .

中国专利 :CN107924862A ,2018-04-17

[8]

基板处理装置和基板移载方法 [P].

本间学 .

日本专利 :CN119028884A ,2024-11-26

[9]

玻璃基板移载装置 [P].

李义隆 .

中国专利 :CN103159402B ,2013-06-19

[10]

玻璃基板移载装置 [P].

黄明鸿 ;

叶公旭 ;

杨正安 ;

何建立 .

中国专利 :CN101538703A ,2009-09-23

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